Berstdruckprüfstand
Berstprüfung von Microdüsen bei Drücken bis 400 bar
Die Bersttestanlage wird zur Prüfung der Festigkeit des Verbundes von mikromechanischen Bauteilen eingesetzt. Die Prüflinge im Projektbeispiel sind Microdüsen, die aus gebondeten Wafern in einzelnen Düsen separiert werden. Pro Wafer wird eine bestimmte Anzahl von Düsen untersucht. Die zu prüfenden Düsen werden hierzu in ein Magazin eingelegt.
Die Berstdruckprüfung erfolgt im Anschluss automatisch. Die Prüfdruck Erzeugung ist bis 1000 bar ausgelegt wird aber in der Anlage bei 550 bar mittels Berstscheibe begrenzt. Mithilfe des Berstgeräusches und des Druckkurvenverlaufs vor und nach dem Bersten und unter Anwendung parametrierbarer i.O.-Kriterien, entscheidet die Anlage selbständig, ob eine Düse prozesskonform geborsten ist oder nicht. Das Prüflingshandling, die Adaption der Prüflinge sowie die Messdatenerfassung erfolgt automatisch. Die Prüfdruckerzeugung erfolgt über den von EPE entwickelten HPC Kolbencontroller.
Technische Daten
| Prüfdruck | Bis ca. 400 bar |
| Medium | Bspw. Wasser, Öl, u. A. |
| Datenerfassung / Steuerung | PC/SPS/Vollautomatisch |
kann sich für Ihre Applikation ändern.
Features
- Unterschiedliche Prüfdrücke nach Anforderung einstellbar
- Datenerfassung/ Steuerung anforderungsspezifisch via PC/SPS/Vollautomatisch
- Vollautomatischer Betrieb über eine ganze Schicht (8h) ohne Bedienereingriff durch automatische Teilenachführung (Prüflingsmagazin, Dichtungsmagazin)
